Perfformiad Maneg Cleanroom a Metrigau Prawf

May 20, 2026

Gadewch neges

Mae perfformiad menig ystafell lân yn cael ei werthuso'n bennaf trwy gyfres o fetrigau prawf safonol, sy'n gweithredu fel sail graidd ar gyfer dewis menig i fodloni gofynion amgylcheddau glân penodol.


Mae profion glendid yn bennaf yn defnyddio profion LPC (Cyfrif Gronynnau Hylif) i asesu lefelau gronynnau ar wyneb y faneg; rhaid i'r dosbarth glendid gyfateb i'r amgylchedd gweithredu, gyda safonau cyffredin gan gynnwys ISO 14644-1, IEST-RP-CC005.3, ac ASTM D6978. Er enghraifft, mewn parthau fferyllol Gradd A/B, y gofyniad yw bod yn rhaid i ronynnau sy'n fwy na 0.5 µm ar wyneb y faneg fod yn llai na 1,500 y m².


Mae profion halogion cemegol yn cynnwys profion NVR (Gweddillion Anweddol), FTIR (Sbectrosgopeg Isgoch Trawsnewid Fourier), IC (Ion Chromatography), a GC (Nwy Cromatograffeg), a ddefnyddir yn y drefn honno i ganfod gweddillion anweddol, halogion fel olew silicon, rhywogaethau a chrynodiadau ïonig, a chrynodiadau organig.


Mae profion perfformiad corfforol yn cwmpasu metrigau fel cryfder tynnol, ymestyniad ar egwyl, a chryfder tyllu i werthuso gwydnwch a galluoedd amddiffynnol y menig.


Asesir perfformiad gwrth-statig trwy brofion ESD (rhyddhau electrostatig)-mesuriadau gwrthiant trydanol yn benodol; dylai ymwrthedd arwyneb menig gwrth-yn nodweddiadol aros yn sefydlog o fewn yr ystod 10⁶–10⁹ Ω.


O ran profion bioddiogelwch, mae rheolaeth endotocsin yn arbennig o hanfodol mewn biofferyllol, gyda'r FDA yn pennu terfynau o ran yr UE/dyfais.

 

Anfon ymchwiliad